“RHT系列半導(dǎo)體快速熱處理設(shè)備”是微電子所研制開發(fā)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。該設(shè)備已獲1項(xiàng)美國(guó)專利、4項(xiàng)中國(guó)專利、1項(xiàng)日本專利，1990、1991年先后獲得國(guó)家發(fā)明二等獎(jiǎng)和中國(guó)專利金獎(jiǎng)，目前廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)大規(guī)模集…